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真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域裝備

離子輔助熱蒸發(fā)復(fù)合磁控濺射鍍膜機(jī)

設(shè)備圖片

【儀器簡(jiǎn)介】:本設(shè)備將磁控濺射技術(shù)、離子轟擊技術(shù)和蒸發(fā)鍍技術(shù)集成到同一真空室中,實(shí)現(xiàn)了將磁控濺射技術(shù)涂層致密、耐腐蝕性佳、結(jié)合強(qiáng)度高的優(yōu)勢(shì),和蒸發(fā)鍍技術(shù)沉積速率高、生產(chǎn)效率高的優(yōu)勢(shì)有機(jī)結(jié)合。主要用于在小型緊固件、釹鐵硼永磁體上制備腐蝕防護(hù)涂層。

【儀器參數(shù)】:本設(shè)備采取臥式滾鍍?cè)O(shè)計(jì),有效鍍膜區(qū)域?yàn)棣?00mm(直徑)×650mm(寬),可耐溫300℃。


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