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真空鍍膜技術領域科技成果 / 金屬氮化物基多元多層陶瓷薄膜制備技術及其應用

成果基本信息
成果名稱
金屬氮化物基多元多層陶瓷薄膜制備技術及其應用
技術領域
表面改性材料
應用行業(yè)
新材料
技術成熟度
推廣
成果內容介紹

分別利用陰極電弧離子鍍和磁控濺射技術技術,開發(fā)出一系列高硬度、耐磨、抗沖蝕機械功能金屬氮化物(如TiN、ZrN、CrN、TiCN、TiAlN、CrAlN、CrAlSiN、CrTiAlN、TiN/ZrN、CrN/CrAlN等)薄膜。膜層硬度≥20GPa,可廣泛應用于機械制造刀具模具、航空、汽車和五金關鍵部件等。可根據(jù)不同的應用選擇不同的涂層,如應用于刀具的抗高溫氧化耐磨可選擇TiAlN、CrAlN、CrAlSiN和CrTiAlN,應用于活塞環(huán)選擇韌性好的CrN厚膜,對于抗沖蝕工況,則選擇TiN/ZrN和CrN/CrAlN軟硬交替膜層。


專利名稱
(1)微型鉆頭表面改性用多元多層硬質薄膜材料及其制備方法 (2)一種高溫抗氧化自潤滑多層涂層及其制備方法 (3)一種高硬TiCN納米復合薄膜及其制備方法、模具 (4)一種抗沖蝕涂層及其制備方法與應用、工程材料
專利號
(1)ZL200710032728.2 (2)ZL 201710776116.8 (3)ZL 201811001100.0 (4)ZL 201910410623.9
合作方式
合作開發(fā)
聯(lián)系人
林松盛
聯(lián)系方式
020-37238071
單位
廣東省科學院新材料研究所
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