成果基本信息 |
成果名稱 |
精密部件用耐磨減摩類金剛石薄膜 | |||
技術領域 |
新材料 | ||||
應用行業 |
表面改性材料 | ||||
技術成熟度 |
推廣 | ||||
成果內容介紹 |
類金剛石(Diamond Like Carbon, DLC)膜是一類含有金剛石結構和石墨結構的非晶/納米晶碳膜的總稱。DLC膜由于具有特殊的摩擦磨損性能，發達國家已將其廣泛應用于機械制造、汽車工業、航空航天和國防工業等領域。本項目針對不同應用對象，采用多種技術制備多種高性能DLC膜。重點解決DLC膜內應力大而引起的結合不良和膜層脆性大的技術難題。在精密部件表面硬度達≥20GPa，摩擦系數小于0.20。用于精密部件的表面處理，可起到有效地耐磨減摩作用，大幅度地提高部件使用壽命。 |
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專利名稱 |
（1）金屬碳化物/類金剛石（MeC/DLC）納米多層膜材料及其制備方法 （2）一種無氫摻硅類金剛石膜層及其制備方法 （3）一種無氫類金剛石薄膜及其制備方法與應用 | 專利號 |
（1）ZL200710028834.3 （1）ZL201210072931.3 （3）ZL 201811113026.1 | ||
合作方式 |
合作開發 | ||||
聯系人 |
林松盛 | 聯系方式 |
020-37238071 | 單位 |
廣東省科學院新材料研究所 |
